捷捷微电子公司获得发明专利 涉一种丝网漏涂玻璃钝化模具及其工艺方法
编辑:admin 日期:2020-03-16 19:02:52 / 人气:
该发明公开了一种丝网漏涂玻璃钝化模具,包括硅单晶片、不锈钢丝网网版、不锈钢刮刀,硅单晶片设有台面腐蚀槽,不锈钢丝网网版带有凸台及漏透区域,不锈钢丝网网版一侧设有凸台,漏透区域的排布、位置与形状尺寸完全与硅单晶片单面的台面腐蚀槽区域一致,凸台两侧相邻位置设有漏透区域,不锈钢刮刀一侧设有2-5CM高刀刃,凸台凸出高度较硅单晶片台面腐蚀槽深度短3-5微米,一种丝网漏涂玻璃钝化工艺方法,包括以下步骤:对版;上玻璃糊、刮涂;玻璃糊成型、脱网版;玻璃烧熔,本发明设置凸台防止过多的玻璃糊刮到玻璃槽中间无效位置。
上述发明专利的取得和运用,有利于公司进一步完善知识产权保护体系,形成持续创新机制,保持技术领先地位,提升公司的核心竞争力。
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